说明 |
用途 |
安全标示 |
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装于钢瓶中的液化气体 |
大规模集成电路生产中,单 晶硅片气相抛光,外延基座 腐蚀。 |
国家危险性类别:2.3 |
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遇水强腐蚀性 |
UN No.: 1050 |
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强刺激味 |
CN No.: 22022 |
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吸入毒性 |
CAS No.: 7647-01-0 |
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保质期:2年 |
安全警示:腐蚀性 |
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职业接触限值MAC(mg/m³): 7.5mg/m³ |
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厂家应急电话:0532-68081808 |
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钢瓶 |
种类:氯化氢专用钢瓶 |
瓶阀 |
类型: 隔膜式/栓隔膜式 |
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装量: 25kg/250kg/660kg |
接口: CGA330/DISS634/DIN-8 |
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瓶压: 4.2MPa(20℃) |
阀体材料: 抗腐蚀316L不锈钢 |
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等级:VLSI 纯度≥99.999% 检测方式:批量检测 |
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成 份 |
标准值 GB/T24469-2009 |
检测仪器 |
检测限 |
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杂 质 1X10-6( ) |
氮 |
≤2.00 |
DID色谱仪 |
0.01 |
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氢+氩 |
≤1.00 |
DID色谱仪 |
0.01 |
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甲烷+乙炔 |
≤1.00 |
DID色谱仪 |
0.01 |
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一氧化碳 |
≤2.00 |
DID色谱仪 |
0.01 |
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二氧化碳 |
≤2.00 |
DID色谱仪 |
0.01 |
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水 |
≤1.00 |
光腔衰荡微水仪 |
0.001 |
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金属离子 1X10-6( ) |
铁 |
≤0.50 |
等离子体发射光谱 |
0.001 |
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镍 |
≤0.10 |
等离子体发射光谱 |
0.001 |
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铜 |
≤0.10 |
等离子体发射光谱 |
0.001 |
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钴 |
≤0.10 |
等离子体发射光谱 |
0.001 |
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锰 |
≤0.10 |
等离子体发射光谱 |
0.001 |
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铬 |
≤0.10 |
等离子体发射光谱 |
0.001 |
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