电子级氯化氢5.0N CAS No.:7647-01-0

说明

用途

安全标示

装于钢瓶中的液化气体

大规模集成电路生产中，单

晶硅片气相抛光，外延基座

腐蚀。

国家危险性类别：2.3

遇水强腐蚀性

UN No.: 1050

强刺激味

CN No.: 22022

吸入毒性

CAS No.: 7647-01-0

保质期：2年

安全警示：腐蚀性

职业接触限值MAC（mg/m³）: 7.5mg/m³

厂家应急电话：0532-68081808

钢瓶

种类：氯化氢专用钢瓶

瓶阀

类型： 隔膜式/栓隔膜式

装量： 25kg/500kg

接口： CGA330/DISS634/DIN-8

瓶压： 4.2MPa(20℃)

阀体材料： 抗腐蚀316L不锈钢

等级:VLSI 纯度≥99.999% 检测方式：批量检测

成 份

标准值

GB/T24469-2009

检测仪器

检测限

杂 质

1X10^-6（ ）

氮

≤2.00

DID色谱仪

0.01

氢+氩

≤1.00

DID色谱仪

0.01

甲烷+乙炔

≤1.00

DID色谱仪

0.01

一氧化碳

≤2.00

DID色谱仪

0.01

二氧化碳

≤2.00

DID色谱仪

0.01

水

≤1.00

光腔衰荡微水仪

0.001

金属离子

1X10^-6（ ）

铁

≤0.50

等离子体发射光谱

0.001

镍

≤0.10

等离子体发射光谱

0.001

铜

≤0.10

等离子体发射光谱

0.001

钴

≤0.10

等离子体发射光谱

0.001

锰

≤0.10

等离子体发射光谱

0.001

铬

≤0.10

等离子体发射光谱

0.001